真空热处理技术是近年来发展起来的一种新型热处理技术。其特点是模具制造迫切需要，如避免加热、氧化和不脱碳、真空脱气或除气，去除氢脆，从而提高材料（零件）的塑性、韧性和疲劳极限。真空加热缓慢、零件内外温差小等因素决定了真空热处理过程造成的零件变形小。
计算机模拟技术在热处理过程中的成功开发和应用，促进了模具智能热处理的可能性。因为小批量(甚至单件)的模具加工、多品种的特点，以及对热处理性能要求高、不允许产生废物的特点，使得模具的智能热处理成为必要的。在美国、日本等国外发达国家，真空高压淬火也发展迅速，主要针对模具。
真空油冷淬火、真空冷淬火和真空淬火主要用于模具真空热处理。为了保持工件（如模具）真空加热的优良特性，冷却液和冷却工艺的选择和制定非常重要。模具淬火工艺主要采用油冷和空冷。对于热处理后不再进行机械加工的模具工作面，应尽量在淬火后使用真空淬火，尤其是真空淬火的工件（模具）。它可以提高与表面质量相关的机械性能，如疲劳性能、表面光泽度、耐腐蚀性等。
